Il laboratorio è dotato di strumenti per l'analisi superficiale alla micro e nanoscala, comprendente di un profilometro a stilo, un profilometro ottico, una macchina di misura focus variation, un sensore puntuale confocale cromatico, un diffrattometro, un microscopio a scansione elettronica (SEM) da banco e un microscopio a forza atomica metrologico (mAFM). 

Gli strumenti che garantiscono la riferibilità al Sistema Internazionale sono il profilometro a stilo, il diffrattometro ottico e il mAFM, che vengono usati per tarare campioni di rugosità, campioni a solco e a gradino, grating 1D e 2D e nanoparticelle sferiche.

Luigi Ribotta